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能酸鋰憶阻薄膜的制備-離子注入剝離技術(shù),氬離子輻照的方式
發(fā)布時間:2021-03-31     作者:yyp   分享到:

銀酸鋰憶阻薄膜的制備分為兩個主要部分,一個是通過離子注入剝離技術(shù)從單晶塊材中剝離出一定厚度的片酸鋰單晶薄膜,并采用BCB膠將其鍵合到襯底上,具體的實施分為四個主要的步驟如下圖1所示,另一個是利用氬離子輻照的方式對薄膜進行處理,通過引入氧空位的方式使薄膜具有憶阻特性。因此這兩個部分主要用到高能離子注入技術(shù)和低能離子輻照技術(shù)。

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yyp2021.3.31

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