離子注入剝離方法可以實現(xiàn)幾乎所有單晶薄膜材料的轉(zhuǎn)移制備,其制備的薄膜材料具有與單晶材料相當(dāng)?shù)木w結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能。現(xiàn)有的硅晶圓的尺寸通常在12英寸,而氮化家(氮化昇)、砷化家(砷化家)、磷化錮(磷化錮);銀酸鋰(銀酸鋰)等材料的晶圓尺寸通常在4-6英寸。由于離子注入剝離方法原理的限制,其將類似氮化家(氮化家)等小尺寸晶圓制備超過6英寸的單晶薄膜受到了嚴(yán)重限制,氮化家(氮化家)、砷化家(砷化家)﹑磷化鋼(磷化鋼)﹔鋸酸鋰(鋸酸鋰)等單晶薄膜受到了應(yīng)用的局限性。

提供的一種拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法,包括如下制備步驟:選擇至少兩個小尺寸單晶晶圓,在各小尺寸單晶晶圓的下表面注入高能量離子，使得各小尺寸單晶晶圓內(nèi)部形成損傷層,損傷層將小尺寸單晶晶圓分隔成上壓電層和單晶薄膜層,得到具有損傷層的小尺寸單晶晶圓;

在襯底的上表面劃分出與各具有損傷層的小尺寸單晶晶圓匹配的鍵合區(qū)域,在鍵合區(qū)域內(nèi)制備與各具有損傷層的小尺寸單晶晶圓匹配的鍵合層;

將各具有損傷層的小尺寸單晶晶圓的下表面疊放于一一對應(yīng)的鍵合區(qū)域內(nèi),進行鍵合處理和晶圓劈裂處理,移除上壓電層,制得拼接小尺寸單晶薄膜。

優(yōu)選地,小尺寸單晶晶圓包括石英、片酸鋰(LN)﹑鈕酸鋰(LT)﹑氮化鋁、氧化鋅、鈦酸鋇、磷酸二氫鉀、鋸鎂酸鉛、氮化家、砷化家、磷化錮、碳化硅、金剛石中的一種。

優(yōu)選地,小尺寸單晶晶圓的規(guī)格為1×1mm2-100×100mm3;優(yōu)選地,小尺寸單晶晶圓的規(guī)格為5×5mm2-10×10mm2。

圖1為拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法步驟框圖

圖2為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法步驟示意圖

圖3為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法步驟示意圖

圖4為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法步驟示意圖圖6為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜結(jié)構(gòu)示意圖(俯視圖);附圖標(biāo)記說明:

圖5為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜的制備方法步驟示意圖

圖6為本**中所述拼接式小尺寸單晶薄膜結(jié)構(gòu)示意圖(俯視圖)

附圖標(biāo)記說明：

1-單晶薄膜;2-襯底;3-鍵合層;4-損傷層;5-上壓電層。

供應(yīng)產(chǎn)品目錄：

TiO2/Pt/TiO2, TiO2/TiO2/Pt和Pt/TiO2/TiO2薄膜

高遷移率層狀硒氧化鉍Bi2O2Se半導(dǎo)體薄膜

碲氧濺射薄膜

碲納米線柔性薄膜

三硫化二錫Sn2S3薄膜

銅鋅錫硫和硫化亞錫（CZTS和SnS）薄膜

銅錫鋅硒硫Cu2ZnSn(SSe)4薄膜

硫硒化鎘和硫硒化鋅修飾的二氧化鈦薄膜

納米二氧化釩(VO2)薄膜

半導(dǎo)體硫(硒)化鋅-錳薄膜

無擴散阻擋層Cu-Ni-Sn三元薄膜

三元鎳磷鋁合金薄膜

鎢摻雜的硫硒化鎳薄膜

固溶體半導(dǎo)體碲硫鋅多晶薄膜ZnS1-x Tex

Zn(S,O)多晶薄膜

鋅基底表面超疏水薄膜

Zr-Al復(fù)合薄膜

大面積二硫化鋯薄膜

BaZrS3薄膜

碲化錳MnTe薄膜

碲化鎳NiTe薄膜

Cr摻雜ZnS的中間帶薄膜

銅鈷錫硫(硒)(CCTS(Se))薄膜

氧化石墨烯/硝酸銀復(fù)合薄膜

氧化石墨烯/PDDA薄膜

硫化砷AS2S3薄膜

硫化砷非晶態(tài)半導(dǎo)體薄膜

硫化砷玻璃薄膜

低溫生長富砷的鎵砷銻薄膜

As摻雜碲鎘汞薄膜

鍺砷硒半導(dǎo)體薄膜

三硒化二鉍Bi2Se3薄膜

Sb2Te3薄膜

三碲化二鉍Bi2Te3薄膜

晶界調(diào)控n型碲化鉍薄膜

碲化鉍取向納米柱狀薄膜

碲化鉍納米薄膜

碲化鉍(Bi2Te3)化合物熱電薄膜

碲化鎘硅基薄膜

錳鉍稀土(MnBiRE)磁光薄膜

二硫化銅銦薄膜

二硫化鎢固體潤滑薄膜

二硫化錸(ReS2)薄膜

二維二硫化鎢薄膜

二碲化鈦(TiTe2)過渡金屬二硫化物薄膜

二維碲化鉑納米薄膜

二硒化銅銦(CuInSe2,CIS )薄膜

CIGSeS/CIGSe復(fù)合薄膜

大尺寸單層硒分區(qū)摻雜二硫化鎢薄膜

銅銦鎵硒/硫/硒硫薄膜

具有光引出層的柔性氣密性薄膜

鋯鈦酸鉛(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,簡寫為PZT)薄膜

鋯鈦酸鉛 (PbZr0.5Ti0.5O3) 薄膜

強介電 Pb(Zr, Ti)O3 薄膜

強誘電體/高取向度PZT鐵電薄膜

Bi2-xSbxTe3基熱電薄膜

MOCVD-Pb(Zr,Ti)O_3薄膜

Pb(Zr,Ti)O3--CoFe2O4納米復(fù)合薄膜

多鐵性磁電復(fù)合薄膜

聚酰亞胺/納米Al2O3復(fù)合薄膜

金剛石薄膜

直流磁控濺射ZnO薄膜

WO3-TiO2薄膜

超疏水多孔陣列碳納米管薄膜

仿生超疏水性薄膜

摻錫TiO2復(fù)合薄膜

TiO2-SiO2超親水性薄膜

金屬離子摻雜的TiO2薄膜

納米碳纖維膜/鈷酸鋰三維同軸復(fù)合膜

含氫類金剛石薄膜

納米結(jié)晶金剛石碳膜

三明治結(jié)構(gòu)透明導(dǎo)電薄膜

三維納米多孔石墨烯(3D-npG)薄膜

高性能的碳納米纖維柔性薄膜

石墨烯基透明導(dǎo)電薄膜

球殼狀連續(xù)異質(zhì)結(jié)構(gòu)的3D納米多孔石墨烯(hnp-G)薄膜

聚丙烯腈納米纖維薄膜

石墨烯/多孔碳膜

三維多孔碳膜

二維氮化硼納米薄膜

高性能鈉離子薄膜

多孔石墨烯/碳納米管復(fù)合薄膜(PGNs-CNT)

石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜

各向異性導(dǎo)電高分子復(fù)合薄膜

碳氮化物薄膜

微納結(jié)構(gòu)薄膜

三維階層多孔金膜

大內(nèi)徑碳納米管陣列薄膜

金納米顆粒-碳復(fù)合材料催化劑薄膜

納米反應(yīng)器陣列薄膜

鐵氧體/石墨烯基納米復(fù)合薄膜

三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)鐵氧體/碳材料納米復(fù)合薄膜

具有大孔-中孔多級孔結(jié)構(gòu)的自支撐碳納米管薄膜

非晶碳基納米多層薄膜

離子液體/織構(gòu)化類金剛石碳復(fù)合潤滑薄膜

碳納米纖維薄膜

硫化鈷鎳納米棒-靜電紡絲碳納米纖維復(fù)合薄膜

金球/多壁碳管/聚苯胺薄膜

三維多孔碳納米管/石墨烯導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的柔性薄膜

三維鎳納米線薄膜

超順排碳納米管薄膜

yyp2021.3.24