靶材是制備薄膜的主要材料之一,主要應用于集成電路、平板顯示、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等,對材料純度和穩定性要求高。陶瓷靶材作為非金屬薄膜產業發展的基礎材料,已得到空前的發展,靶材市場規模日益膨脹。
陶瓷靶材的種類:
(1)按應用來分,可分為半導體關聯陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、磁記錄陶瓷靶材、光記錄陶瓷靶材、超導陶瓷靶材、巨磁電阻陶瓷靶材等。
(2)按化學組成,可分為氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等。其中平面顯示ITO陶瓷靶材國內已廣泛生產應用。高介電絕緣膜用陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材具有廣闊的應用前景。
濺射陶瓷靶材的制備方法:常用的成型方法有干壓成型、冷等靜壓成型等。冷等靜壓成型由于具有坯體密度高而且均勻,磨具制作方便,成本較低等優點,故而成為常用的成型方法。陶瓷靶材的燒結常采用常壓燒結、熱壓燒結及氣氛燒結等方法。
陶瓷靶材的特性要求:
(1)純度:陶瓷靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產品的質量的一致性越好。
(2)密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度。靶材越密實,濺射顆粒的密度月底,放電現場就越弱,薄膜的性能也越好。
(3)成分與結構均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤特在復雜的大面積鍍膜應用中,必須做到靶材成分與結構均勻性好。
西安齊岳生物科技有限公司可根據客戶要求定制各種金屬靶材,多種形態(平面靶、多弧靶、旋轉靶及其它異形靶材),純度,包裝從克至噸級的高純金屬單質。
溫馨提示:靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環,圓棒,臺階圓片,臺階矩形,三角形,管狀靶,套靶等或按客戶要求訂做,可根據客戶提供的圖紙要求加工. 并可以為客戶提供部分靶材的定制服務.西安齊岳生物提供的所有產品僅用于科研,axc.2021.01.21