PVD(Physical Vapor Deposition)技術是制備薄膜材料的主要技術之一,在真空條件下采用物理方法,將某種材料氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程,在基板材料表面沉積具有增透、反射、保護導電、導磁、絕緣、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、裝飾等特殊功能的薄膜材料的技術。用于制備薄膜材料的物質被稱為 PVD鍍膜材料。濺射鍍膜和真空蒸發鍍膜是最主流的兩種 PVD 鍍膜方式。
濺射靶材具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點,一般由靶坯和背板組成。靶坯屬于濺射靶材的核心部分,是高速離子束流轟擊的目標材料。靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。由于高純度金屬強度較低,因此濺射靶材需要在高電壓、高真空的機臺環境內完成濺射過程。超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合,背板起到主要起到固定濺射靶材的作用,且需要具備良好的導電、導熱性能。
按使用的原材料材質不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質靶材、合金靶材、化合物靶材等。濺射鍍膜工藝可重復性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所制備的薄膜具有純度高、致密性好、與基板材料的結合力強等優點,已成為制備薄膜材料的主要技術之一,各種類型的濺射薄膜材料已得到廣泛的應用,因此,對濺射靶材這一具有高附加值的功能材料需求逐年增加,濺射靶材亦已成為目前市場應用量**的 PVD 鍍膜材料。
超高純金屬及濺射靶材是電子材料的重要組成部分,濺射靶材產業鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環節,其中,靶材制造和濺射鍍膜環節是整個濺射靶材產業鏈中的關鍵環節。
以下是客戶經常購買的金屬濺射靶材產品目錄
溫馨提示:靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環,圓棒,臺階圓片,臺階矩形,三角形,管狀靶,套靶等或按客戶要求訂做,可根據客戶提供的圖紙要求加工. 并可以為客戶提供部分靶材的定制服務.
西安齊岳生物提供的所有產品僅用于科研,axc.2021.01.21