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金屬濺射靶材的生產(chǎn)工序、種類(lèi)及應(yīng)用領(lǐng)域介紹
發(fā)布時(shí)間:2021-01-18     作者:axc   分享到:

西安齊岳生物科技有限公司主營(yíng)產(chǎn)品:濺射靶材(金屬靶材、合金靶材、陶瓷靶材、氧化物靶材、氟化物靶材、硫化物靶材)、蒸發(fā)鍍膜材料、基片材料、晶體材料、無(wú)機(jī)化合物材料、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能光伏材料、電子材料、金屬粉末、氧化物粉末、貴金屬材料、稀土材料、鍍膜基片、坩堝等。

齊岳金屬濺射靶材生產(chǎn)工序

1、原材料 - 超高純金屬材料鑄錠,切斷,成分檢查、不純物檢查

2、塑性變形材結(jié)晶過(guò)程 - 塑性加工,熱處理,尺寸檢查,取向檢查

3、焊接 - 焊接強(qiáng)度檢查,焊接結(jié)合率檢查

4、機(jī)加

5、檢測(cè) - 尺寸檢測(cè),成分檢測(cè)、外觀檢測(cè)

6、清洗、干燥、包裝 (包裝檢查、文件檢查)

7、出貨

金屬濺射靶材濺射原理示意

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齊岳金屬濺射靶材種類(lèi)

1.根據(jù)形狀可分為方靶,圓靶,異型靶

2.根據(jù)成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

3.根據(jù)應(yīng)用不同又分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、記錄介質(zhì)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導(dǎo)陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等

4.根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域分為微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導(dǎo)電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材


齊岳高純金屬濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域

1.半導(dǎo)體用金屬靶材

半導(dǎo)體芯片用金屬濺射靶材的作用,就是給芯片上制作傳遞信息的金屬導(dǎo)線。具體的濺射過(guò)程:**利用高速離子流,在高真空條件下分別去轟擊不同種類(lèi)的金屬濺射靶材的表面,使各種靶材表面的原子一層一層地沉積在半導(dǎo)體芯片的表面上,然后再通過(guò)的特殊加工工藝,將沉積在芯片表面的金屬薄膜刻蝕成納米級(jí)別的金屬線,將芯片內(nèi)部數(shù)以億計(jì)的微型晶體管相互連接起來(lái),從而起到傳遞信號(hào)的作用。

2.集成電路產(chǎn)業(yè)中高純金屬靶材及其應(yīng)用

晶圓制造 - 主要金屬靶材系列Al、AlSi、AlCu、AlSiCu、W、Ti、WTi等,主要用于鋁互聯(lián);Cu、CuAl、CuMn、Ta、Ru等,主要用于銅互聯(lián);W、Wsi、Ti、Co、NiPt等,主要用于規(guī)劃無(wú)接觸;Ti、Ta、TiAl等,主要用于金屬柵。

3.濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲(chǔ)、液晶顯示屏、激光存儲(chǔ)器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、**裝飾用品等行業(yè)。

西安齊岳生物供應(yīng)的純金屬單質(zhì)靶材產(chǎn)品目錄如下:

產(chǎn)品名元素符號(hào)純度
釩靶材V3N
鐵靶材Fe3N, 3N5, 4N
鈷靶材Co3N5
銀靶材Ag4N
鉬靶材Mo3N5
鈮靶材Nb3N5
鉭靶材Ta3N5, 4N
鎢靶材W3N5
鎳靶材Ni3N, 3N6, 4N, 4N5, 5N
鈦靶材Ti2N7, 4N, 4N5, 5N
鋁靶材Al3N5, 4N, 4N6, 5N, 6N
鉻靶材Cr2N5,3N5
銅靶材Cu3N5~6N
硅靶材Si3N~5N
銦靶材In4N5
鎵靶材Ga5N
錫靶材Sn5N
鋯靶材Zr2N7~5N
金靶材Au4N,4N5,5N
鋰靶材Li3N
鎂靶材Mg3N8,4N,5N
鋅靶材Zn4N,4N5,5N
錳靶材Mn3N,3N5,4N
鉺靶材Er2N5,3N,3N5
鉑靶材Pt3N5,4N,4N5
鍺靶材Ge5N
銥靶材Ir3N5
釕靶材Ru3N5
錸靶材Re3N5,4N
鋨靶材Os3N,3N5
鈀靶材Pd3N5
銠靶材Rh3N5,4N
鈣靶材Ca2N5
鈧靶材Sc4N,4N5
硒靶材Se4N,5N
鍶靶材Sr2N5
釔靶材Y3N,3N5,4N
鎘靶材Cd4N
銻靶材Sb4N,5N
碲靶材Te4N5,5N
鋇靶材Ba3N
鑭靶材La3N,3N5
鈰靶材Ce3N5
鐠靶材Pr3N5
釹靶材Nd3N5
釤靶材Sm3N5
銪靶材Eu3N5
釓靶材Gd2N,3N,3N5
鋱靶材Tb3N5
鏑靶材Dy3N5
鈥靶材Ho3N,3N5
鐿靶材Yb3N5
鉿靶材Hf3N,3N5,3N8,4N
鉛靶材Pb4N
鉍靶材Bi4N,5N

溫馨提示:西安齊岳生物提供的所有產(chǎn)品僅用于科研,不能用于人體。



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