II-VI族化合物半導體氧化鋅（ZnO）作為第三代半導體材料的代表，因其具有獨特的物理、化學和光學性能，正受到人們越來越廣泛的關注和研究。ZnO具有寬的帶隙、很高的化學溫度性和熱溫度性，在大氣中不易被氧化，與III一V族氮化物和Ⅱ一VI族硒化物相比，其材料的穩定性是其它材料所無法比擬的。雖然生長更**的ZnO 還有待進一步研究，但其作為繼II一V氮化物和II一VI族的硒化物之后又一新的寬禁帶半導體激光器材料已經顯示出其獨特的優越性。目前人們對ZnO的研究還處于開始階段，ZnO主要還是在襯底藍寶石（0001)，硅（111)，(100)晶面上進行外延生長。

我們采用硅襯底生長，雖然難度大，但是根據目前的器件和集成技術，硅基上的生長才更具有現實意義。盡管MOCVD技術能夠制備**、大面積、均勻的外延或多晶薄膜，但是利用MOCVD 工藝，在硅襯底上直接生長 ZnO是非常困難的。

本**的目的在于提供一種利用氧化鋅緩沖層生長單晶氧化鋅薄膜的方法，該方法是在襯底硅（001）晶面上采用磁控濺射的方法**生長一層氧化鋅薄膜，然后在氧化鋅薄膜上同質外延生長氧化鋅薄膜;氧化鋅薄膜沉積時襯底溫度約30 0-3 5 0 ℃，壓力約20 Torr，生長厚度0 . 5 - 1 . 0 u m。同時優化生長條件，如溫度、壓力的控制，通過這些措施可以在硅襯底上得到單晶氧化鋅薄膜，并且**地提高ZnO外延膜的質量，并提高表面的平整度。

本**-種利用氧化鋅緩沖層生長單晶氧化鋅薄膜的方法，其特征在于，包括如下步驟:

( 1）取一襯底;

( 2）在該襯底上的硅（001）晶面上采用磁控濺射的方法低溫生長氧化鋅緩沖層;

(3 ）在氧化鋅緩沖層上，采用MOCVD方法低溫生長氧化鋅外延薄膜。

其中襯底是大失配硅襯底。

其中氧化鋅單晶外延薄膜低溫生長的溫度為3 0 0 -3 5 0 ℃，生長壓力為2 0 Torr，生長厚度為0.5-1.0 u m.

其中氧化鋅單晶外延薄膜的表面粗糙度為6- 1 0 nm。其中氧化鋅單晶外延薄膜的XRD曲線半峰寬為0.3 3 °。

其中氧化鋅單晶外延膜的PL譜僅有一個紫外發光峰且半峰寬為2 1.0 3 nm。

其中氧化鋅單晶外延薄膜的RHEED圖像為規則點狀。

圖1是本**的單晶氧化鋅外延膜的結構示意圖;

圖2是本**的單晶氧化鋅外延膜的 RHEED照片。

供應產品目錄：

錳鉍稀土(MnBiRE)磁光薄膜

二硫化銅銦薄膜

二硫化鎢固體潤滑薄膜

二硫化錸(ReS2)薄膜

二維二硫化鎢薄膜

二碲化鈦(TiTe2)過渡金屬二硫化物薄膜

二維碲化鉑納米薄膜

二硒化銅銦(CuInSe2,CIS )薄膜

CIGSeS/CIGSe復合薄膜

大尺寸單層硒分區摻雜二硫化鎢薄膜

銅銦鎵硒/硫/硒硫薄膜

具有光引出層的柔性氣密性薄膜

鋯鈦酸鉛(Pb(Zn0.53Ti0.47)O3,簡寫為PZT)薄膜

鋯鈦酸鉛 (PbZr0.5Ti0.5O3) 薄膜

強介電 Pb(Zr, Ti)O3 薄膜

強誘電體/高取向度PZT鐵電薄膜

Bi2-xSbxTe3基熱電薄膜

MOCVD-Pb(Zr,Ti)O_3薄膜

Pb(Zr,Ti)O3--CoFe2O4納米復合薄膜

多鐵性磁電復合薄膜

聚酰亞胺/納米Al2O3復合薄膜

金剛石薄膜

直流磁控濺射ZnO薄膜

WO3-TiO2薄膜

超疏水多孔陣列碳納米管薄膜

仿生超疏水性薄膜

摻錫TiO2復合薄膜

TiO2-SiO2超親水性薄膜

金屬離子摻雜的TiO2薄膜

納米碳纖維膜/鈷酸鋰三維同軸復合膜

含氫類金剛石薄膜

納米結晶金剛石碳膜

三明治結構透明導電薄膜

三維納米多孔石墨烯(3D-npG)薄膜

高性能的碳納米纖維柔性薄膜

石墨烯基透明導電薄膜

球殼狀連續異質結構的3D納米多孔石墨烯(hnp-G)薄膜

聚丙烯腈納米纖維薄膜

石墨烯/多孔碳膜

三維多孔碳膜

二維氮化硼納米薄膜

高性能鈉離子薄膜

多孔石墨烯/碳納米管復合薄膜(PGNs-CNT)

石墨烯/二氧化錳復合薄膜

各向異性導電高分子復合薄膜

碳氮化物薄膜

微納結構薄膜

三維階層多孔金膜

大內徑碳納米管陣列薄膜

金納米顆粒-碳復合材料催化劑薄膜

納米反應器陣列薄膜

鐵氧體/石墨烯基納米復合薄膜

三維網絡結構鐵氧體/碳材料納米復合薄膜

具有大孔-中孔多級孔結構的自支撐碳納米管薄膜

非晶碳基納米多層薄膜

離子液體/織構化類金剛石碳復合潤滑薄膜

碳納米纖維薄膜

硫化鈷鎳納米棒-靜電紡絲碳納米纖維復合薄膜

金球/多壁碳管/聚苯胺薄膜

三維多孔碳納米管/石墨烯導電網絡的柔性薄膜

三維鎳納米線薄膜

超順排碳納米管薄膜

金屬摻雜DLC(Me-DLC)納米復合薄膜

C-TiO_2和C-Ni-TiO_2復合薄膜

碳基架負載二氧化錳納米片的復合薄膜

超潤滑非晶碳膜

網狀結構碳納米管薄膜

二維碳基薄膜

石墨烯基納米薄膜復合材料

超級電容器柔性可彎曲薄膜

三維石墨烯/多壁碳納米管/納米金鉑復合膜(3DGN/MWCNT/Au-PtNPs)

多孔C/TiO2納米復合薄膜

碳包覆磷酸鐵鋰薄膜

WC/類金剛石(DLC)/WS2納米復合薄膜

yyp2021.4.1