三維厚膠/電子束光刻膠/薄膠/Lift off光刻膠/光刻膠紫外正性光刻膠（齊岳定制）

光刻膠——高精度光刻的關鍵

在半導體制造領域，上游微電子材料和設備是支撐該行業的關鍵部分。上游微電子材料包括半導體制造過 程中用到的所有化學材料，包括硅片、光刻膠及輔助材料、光掩模、CMP 拋光材料、工藝化學品、濺射靶材、 特種氣體等。其中，光刻膠是占據**重要地位的關鍵原材料。

光刻是將電路圖形由掩膜版轉移到硅片上，為后續刻蝕工藝做準備的過程。光刻是 IC 制造過程中耗時較長、 難度較大的工藝之一，耗時占 IC 制造 50%，成本占 IC 制造 1/3。在一次芯片制造中，往往要對硅片進行上十次 光刻，其主要流程為清洗、涂膠、前烘、對準、曝光、后烘、顯影、刻蝕、光刻膠剝離、離子注入等。在光刻 過程中，需在硅片上涂一層光刻膠，經紫外線曝光后，光刻膠的化學性質發生變化，通過顯影后，被曝光的光刻膠將被去除，電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上，再經過刻蝕工藝，實現電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。

光刻膠是光刻工藝較重要的耗材，光刻膠的質量對光刻精度至關重要。光刻膠是指通過紫外光、準分子激 光、電子束、離子束、X 射線等光源的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕刻材料。由于光刻膠具有光化學 敏感性和防腐蝕的保護作用，因此經過曝光、顯影、刻蝕等工藝，可以將微細電路圖形從掩膜版轉移到硅片。雖然光刻膠制造成本低，但是技術壁壘高，不可替代，難以保存。

光刻過程示意圖

光刻膠按照應用場景不同可分為半導體光刻膠、LCD 光刻膠、PCB 光刻膠。光刻膠處于半導體產業鏈的 材料環節，上游為基礎化工材料和精細化學品行業，中游為光刻膠制備環節，下游為半導體制造，較后市場是 電子產品應用終端。

光刻膠的種類：

光刻膠的主要成分有光刻膠樹脂、感光劑、溶劑和添加劑。光刻膠樹脂是一種惰性的聚合物基質，是用來 將其它材料聚合在一起的粘合劑；光刻膠的粘附性、膠膜厚度等特性都是由樹脂決定的。感光劑是光刻膠的核 心部分，它對光形式的輻射能，特別是在紫外區光的輻射能會發生反應；曝光時間、光源所發射光線的強度都 和感光劑的特性直接相關。溶劑是光刻膠中容量較大的成分；因為感光劑和添加劑都是固態物質，為了將他們 均勻地涂覆，要將它們加入溶劑進行溶解，形成液態物質，且使之具有良好的流動性，可以通過旋轉方式涂布 在晶圓表面。添加劑可以用以改變光刻膠的某些特性，如可以通過添加染色劑來改善光刻膠，使其發生反射。

光刻膠的品種多種多樣，基于感光樹脂的化學結構，按技術可分為光聚合型、光分解型、光交聯型三種。另外，正性和負性光刻膠是光刻膠的兩個重要品類，光照后形成可溶物質的為正性膠，形成不可溶物質的為負 性膠。由于性能較優，正性光刻膠應用更廣，但由于光刻膠需求量大，負性膠仍有一定的應用市場。

基礎產品供應；

產品名稱    cas    

1-丙烯酸金剛烷酯    121601-93-2    

1-金剛烷基甲基丙烯酸酯    16887-36-8    

丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯    7398-56-3    

4-乙酰氧基苯乙烯    2628-16-2    

1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯    216581-76-9    

2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯    249562-06-9    

2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯    303186-14-3    

1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯    81665-82-9    

2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯    254900-07-7    

甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[    34759-34-7    

2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯    297156-50-4    

2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯    251564-67-7    

gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯    130224-95-2    

N-異丙基甲基丙烯酰胺    13749-61-6    

(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯    583036-99-1    

(5-氧代四氫呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯    156938-09-9    

1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯    266308-58-1    

1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯    811440-77-4    

2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯    31480-93-0    

n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate    170216-64-5    

2-(溴甲基)丙烯酸甲酯    4224-69-5    

甲基丙烯酸-9-蒽甲酯    31645-35-9    

2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[    347886-81-1    

2-乙烯基萘    827-54-3    

2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯    186585-56-8    

2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯    195000-66-9    

丙烯酸甲基環戊酯    178889-49-1    

丙烯酸1-乙基環戊酯    326925-69-3    

2-氧代四氫呋喃-3-基丙烯酸酯    328249-37-2    

4-叔丁氧基苯乙烯    95418-58-9    

4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸    69260-42-0    

甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯    13695-31-3    

3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene    16215-47-7    

acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol    57142-64-0    

1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯    157057-20-0    

1-甲基環己基甲基丙烯酸酯    76392-14-8    

2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯    1176273-16-7    

2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯)    131787-39-8    

1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯    178889-45-7    

1-乙基環己基甲基丙烯酸酯    274248-09-8    

4-異丙基苯酚    4286-23-1    

(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate    13818-44-5    

乙酸-2-乙烯基苯基酯    63600-35-1    

2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯    325991-26-2    

1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate    51920-52-6    

甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯    15895-80-4    

oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate    52858-59-0    

6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one    1267624-16-7    

3-叔丁氧基苯乙烯    105612-79-1    

2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯    13732-00-8    

2,3-二羥基丙烯酸丙酯    10095-20-2    

2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷    2653-39-6    

3,5-二乙酰氧基苯乙烯    155222-48-3    

2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷    123455-94-7    

二苯基碘酰氯    1483-72-3    

雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽    84563-54-2    

全氟丁基磺酸三苯基锍鹽    144317-44-2    

雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓    5421-53-4    

TBPDPS-PFBS    258872-05-8    

1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽    194999-85-4    

(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸    111281-12-0    

N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸    85342-62-7    

上述產品齊岳生物均可供應！

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